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品牌	昊量光電	產地類別	進口
應用領域	綜合

SIOS雙光束激光干涉儀SP 5000 DS

SIOS雙光束激光干涉儀SP 5000 DS用于需要同時獲取運動角度和長度信息的測量任務。該干涉儀的測量原理基于 SP 5000 NG 測量設備。

兩個測量激光束使用同一頻率的共用激光器的光。兩個測量光束之間的間距經過高精度校準。測量光束之間的平行度至關重要。

如果兩個光束使用同一個反射器，通過形成差值，可在運動中高精度地測量和計算角度。如果兩個光束獨立運行，則可進行差分測量。

對于差分測量的長期穩定性有特別高要求的情況，我們推薦使用 SP 5000 DI 系列干涉儀。

需要同時獲取另一個角度的測量任務，可使用三光束 SP 5000 TR 干涉儀來完成。

雙光束激光干涉儀可同時進行精確的長度和角度測量

·高精度的靈活長度測量系統

·角度檢測精度高

·易于調整和操作

·可使用多種光學反射器，例如球面反射器、平面鏡反射器

·測量反射器允許傾斜角度高達±12.5°

·緊湊型結構

·傳感器頭有鋁、不銹鋼或因瓦合金材質可供選擇

·光束間距：標準12毫米，其他規格可定制

·可提供OEM版本、OEM軟件和真空版本

·豐富的觸發選項

SIOS雙光束激光干涉儀的規格表

System parameter	SP 5000 DS
Measuring range	0 m to ≥ 5 m
Resolution	20 pm*
Angular measuring ranges with reflector with plane mirror (recommended distance ≤2 m)	±12.5° ** ±430 µrad
Angular resolution (at 0.1 nm length resolution)	0,01 µrad***
Beam distances (horizontal and vertical)	12 mm
Wavelength	632.8 nm
frequency stability of the HeNe laser(after warm-up time)	2E-8
Warm-up time of the HeNe laser	10...20 min
Operating temperature range	15...30°C
Max. dISPlacement speed of measuring reflector	3 m/s
Geometric Data
Dimensions (L x W x H): Sensor head with adjustable mount Electronic evaluation and supply unit EU	[199 x 134 x 68] mm [450 x 400 x 150] mm
Mass: Sensor head with adjustable mount Electronic evaluation and supply unit EU	1.6 kg ca. 8 kg
Elektronische Daten
Interfaces standard other interfaces on request (/R)	RS232C, USB
Cable length between sensor head and electronics unit	3 m, optionally up to 10 m
Power supply	100...240 VAC / 47...63 Hz
Laser safety class according to EN 60825-1:2014 and ANSI Z136.1 (CDRH)	2M II
in frequency domain rotary point dependent **least significant bit (LBS)

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SIOS雙光束激光干涉儀SP 5000 DS