| 品牌 | 昊量光電 | 產地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 綜合 |
AUT-FST 5000 薄膜應力測量儀
基于經典基片彎曲法Stoney公式測量原理，采用激光掃描方式和探測技術，以及智能化的操作，使得AUT-FST5000薄膜應力測量儀特別適合于晶圓類光電薄膜樣品的弓高、翹曲、輪廓形貌、曲率半徑和薄膜應力測量和計算.
規格 | 參數 |
基本原理 | 激光曲率法 基于Stoney公式 |
主要方法 | 采用雙波長激光對樣品進行掃描測量 635 nm/670 nm 波長/ ≤5mW |
主要功能 | 自動測量晶圓樣品輪廓形貌、弓高、翹曲度、曲率半徑和薄膜應力 |
薄膜應力測試范圍 | 1- 10000 MPa |
曲率半徑測試范圍 | 2- 20000 m |
曲率半徑重復精度 | ≤±1 % @1σ（曲率半徑≤20 m） ≤±2.5 % @1σ （曲率半徑 ≤ 200 m） |
掃描步長 | 0.1 mm |
樣品尺寸 | 子型號M6-標配6 英寸，向下兼容4、3、2 英寸子型號M8-標配8 英寸，向下兼容6、4、2 英寸 子型號M12-標配12英寸，向下兼容8、6、4 英寸 |
樣品臺 | 電動旋轉+水平位移樣品臺 |
樣品基片校正 | 可數據處理校正原始表面不平影響（對減模式） |
電源 | 110-220 VAC & 200 Watts Maximum |
通訊連接端口 | USB 3.0 |
工作溫度 | 室溫 |
操作軟件 | 可視化2D/3D顯示晶圓輪廓形貌、弓高、翹曲度、曲率半徑和薄膜應力分布；一鍵自動生成檢測報告；視窗界面/適用于Windows 10 系統 |
操作電腦 | 標配品牌臺式一體機： 顯示器：≥21英寸，≥8 G內存，CPU ≥ 2.5 GHz，≥512 G硬盤 |
外形尺寸 | ～850 寬×550深×450 高 mm |
重量 | ~ 35 K g |
質量保證 | 一年免費/終身維護 |
備注 | 以上所列技術規格與參數更新恕不另行通知，如有疑問請聯系我們 |
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