納米精度電動平移臺。

納米精度，大行程電動平移臺！

所屬類別：光機產品/精密定位控制系統 ? 電動平移臺

技術服務人員：李工(William)

納米精度電動平移臺。

電控位移臺也稱為電控平移臺是一種依靠步進電機驅動的執行裝置，通過絲杠將步進電機的角位移轉換為平臺位移。通常情況下該系統由三部分組成：位移臺、電機和控制器。驅動電機及控制器主要決定驅動扭矩、分辨率、加減速度、信號處理等性能參數。位移臺則是系統的心臟，主要指標參數有位移精度、行程、負載、穩定性、適用環境等。

上海昊量光電設備有限公司推出的電動平移臺傳動螺桿采用滾珠絲杠實現高速平穩運動，*的螺桿品質使平移臺擁有的分辨率、定位精度。采用超高等級交叉滾珠導軌，具有超高的運動性能。該系統采用光柵尺閉環控制，在確保大行程的同時，分辨率達到了1nm。按照定位精度區分，我司平移臺可分為 1nm高精度位移臺、5納米精度和10納米精度位移臺、亞微米精度位移臺。

1）1nm高精度電控位移臺。

該系類位移臺可分為諧波齒輪5相步進電機驅動和普通的5相步進電機兩種類型的平移臺。采用光柵尺位置反饋閉環控制使其分辨率可達到1納米，重復定位精度可達到±2nm，可提供20mm、40mm和50mm三種不同的行程，并可以組裝成多維電控運動系統。

2）5nm精度電控位移臺

該系類產品是一款擁有5納米定位精度的閉環控制平移臺，可提供 20mm、40mm、和50mm三個不同的行程，由于采用光柵尺位置編碼閉環反饋控制，使其擁有優秀的分辨率、定位精度及重復定位精鍍。

3）10nm精度電控位移臺

該系類電控位移臺是擁有10nm分辨率的閉環反饋定位系統。其采用光學線性位置編碼器，在提供大行程的同時，使設備擁有較高的精度。該系類評議臺可提供20mm、40mm、50mm、100mm、120mm、150至200mm等不同行程的電控位移臺。

4）亞微米分辨率電控位移臺

該系類位移平臺是指分辨率可達到亞微米精度的精密運動系統。該系統也是光學編碼閉環控制，精度可達到50-100nm，可提供20mm、40mm、50mm、100mm、120mm、150至200mm等不同行程的電控位移臺，并可以根據需求組成二維電控平移臺。

此外該系列平移臺提供在真空條件下的同規格的電控平移臺，可承受的真空度可達到10^-4Pa，相當于10^-6 torr的真空度。

• 主要特點

• 高分辨率

• 高重復定位精度

• 采用滾珠絲杠，實現高精度定位

• 采用高等級交叉滾珠導軌，具有超高運動性能

• 可提供真空同規格的真空版本平移臺

• 主要應用

超精密激光加工、超精密三維掃描測量、全自動計量儀器檢測設備、工業自動化等領域。

• 主要參數：

亞微米精度電控位移臺參數：