MEMS掃描鏡是一種的矢量掃描設備，能使入射光束按照特定的方式與時間順序發(fā)生反射，從而在像面上實現(xiàn)掃描成像.傳統(tǒng)的MEMS掃描鏡體積大、成本高，且多為散裝，大大限制了其應用。相較于傳統(tǒng)的掃描鏡，MEMS掃描鏡具有尺寸小、成本低、掃描頻率高、響應速度快和功耗低等優(yōu)點，以被廣泛的應用在光通信、掃描成像、激光雷達、內窺鏡、3D掃描成像等領域。

MEMS掃描鏡按照掃描維度不同，可以分為一維掃描鏡和二維掃描鏡，一維掃描鏡是指在鏡面在一個維度內偏轉，二維掃描鏡是指沿著兩個方向同時對光束進行調節(jié)。實現(xiàn)二維掃描，可以選用兩個一維的掃描鏡，也可以選用兩個一個二維的掃描鏡。相比較而言二維掃描鏡功能更強大，但是結構也更復雜，控制的難度也就越大。

MEMS掃描鏡按照驅動方式的不同，可以分為靜電驅動、電磁驅動、壓電驅動和電熱驅動四種驅動方式。電熱驅動是，利用電能轉換為熱能，再轉換為機械能驅動，其優(yōu)點是驅動力和驅動位移較大，但是響應速度較慢。壓電驅動是利用壓電材料的壓電效應實現(xiàn)驅動，具有驅動力大、響應速度快等優(yōu)點，但是壓電材料存在遲滯現(xiàn)象。電磁驅動是利用電磁或者永磁體實現(xiàn)驅動，具有較大的驅動力力和驅動位移，但是響應速度偏慢，且容易受到電磁干擾。靜電驅動是利用帶電導體間的靜電作用力實現(xiàn)驅動，具有功耗低、速度快、兼容性好等優(yōu)點。是目前使用zui廣泛的驅動方式。